通过MEMS芯片对液体薄层或纳米电池系统施加电信号等，结合EDS、EELS、SAED、HRTEM、STEM等多种不同模式，实现从纳米甚至原子层面实时、动态监测电极、电解液及其界面在工况下的微观结构演化、反应动力学、相变、元素价态、化学变化、微观应力以及表/界面处的原子级结构和成分演化等关键信息。

采用MEMS微加工工艺在原位样品台内构建液氛纳米实验室，通过MEMS芯片加热，结合使用EDS、EELS、SAED、HRTEM、STEM等多种不同模式，实现从纳米甚至原子层面实时、动态监测样品在液氛环境中随温度变化产生的微观结构演化、反应动力学、相变、元素价态、化学变化、微观应力以及表/界面处的原子级结构和成分演化等关键信息。

光是光催化化学反应的必要条件，TEM液体光学样品台在原位液体样品杆的基础上通过光纤引入光源，在液体环境下选择不同的光源波段和功率以满足各种实验需求，可根据用户需求定制光谱采集及分析系统。

TEM液体电化学样品台可以实现在TEM中液体环境下的定量电化学分析和高分辨（原子级）成像。 通过微纳芯片对样品施加电场， 对单个纳米结构进行外场控制并进行电学性质测量。并可在物性测量的同时， 动态、高分辨地对样品的晶体结构、化学组分、元素价态进行综合表征，极大地扩展了透射电镜的功能与应用领域。

​SEM液体电化学样品台可以同时对四个液体样品（三个静态和一个流体）进行观察，每个样品都被密封在各自的芯片内， 且互不影响。 芯片与原位透射电子显微系统类似， 包含上下两片芯片，通过键合内封和环氧树脂外封与电镜的真空分隔， 以确保液体无泄漏风险。电极材料可以根据客户的需求进行定制， 满足客户多化需求。

通过MEMS芯片在原位样品台内构建热、电复合多场自动控制及反馈测量系统，结合EDS、EELS、SAED、HRTEM、STEM等多种不同模式，实现从纳米甚至原子层面实时、动态监测样品在真空环境下随温度、电场变化产生的微观结构、相变、元素价态、微观应力以及表/界面处的原子级结构和成分演化等关键信息。