通过MEMS芯片对液体薄层或纳米电池系统施加电信号等，结合EDS、EELS、SAED、HRTEM、STEM等多种不同模式，实现从纳米甚至原子层面实时、动态监测电极、电解液及其界面在工况下的微观结构演化、反应动力学、相变、元素价态、化学变化、微观应力以及表/界面处的原子级结构和成分演化等关键信息。

采用MEMS微加工工艺在原位样品台内构建液氛纳米实验室，通过MEMS芯片加热，结合使用EDS、EELS、SAED、HRTEM、STEM等多种不同模式，实现从纳米甚至原子层面实时、动态监测样品在液氛环境中随温度变化产生的微观结构演化、反应动力学、相变、元素价态、化学变化、微观应力以及表/界面处的原子级结构和成分演化等关键信息。

采用MEMS微加工工艺在原位样品台内构建液氛纳米实验室，通过样品台内置的光纤将光作为外场条件搭载其上，通过MEMS芯片和光纤引入的光源对样品施加光场刺激条件，在进行光学性质测量的同时，结合使用EDS、EELS、SAED、HRTEM、STEM等多种不同模式，实现从纳米甚至原子层面实时、动态监测样品在液氛环境中随光场变化产生的微观结构演化、反应动力学、相变、元素价态、化学变化、微观应力以及表/界面处的

通过MEMS芯片对薄层或纳米电池系统施加电信号等，结合EDS等多种不同模式，实现从纳米层面实时、动态监测电极、电解液及其界面在工况下的微观结构演化、反应动力学、相变、化学变化、表/界面处的结构和成分演化等关键信息。

通过MEMS芯片在原位样品台内构建热、电复合多场自动控制及反馈测量系统，结合EDS、EELS、SAED、HRTEM、STEM等多种不同模式，实现从纳米甚至原子层面实时、动态监测样品在真空环境下随温度、电场变化产生的微观结构、相变、元素价态、微观应力以及表/界面处的原子级结构和成分演化等关键信息。

TEM三维重构样品台通过一系列的不同倾斜角获得样品的二维成像信息,并对其进行处理转化为三维信息，该样品台可直接组装直径3 mm的铜网样品，不仅可进行样品的三维重构，还可用于样品材料的扫描透射模式下高角环形暗场成像（HAADF-STEM）的高分辨分析。