SEM液体电化学样品台

厦门超新芯科技有限公司SEM原位电化学样品台是通过MEMS微加工工艺，在标准的扫描电镜样品台基础上设计电路，搭建可视化NONA-LAB和电学控制模块，配合外接法兰可与电化学工作站连接通信。原位扫描电化学反应系统在标准样品台内置三电极电学模块，可在扫描电镜中实现液体样品的电化学反应过程的实时动态成像。

经过模拟校验的电极设计具有电场分布均匀，电位稳定等优点，并且芯片池内的保护性涂层保证了电学测量的低噪音和精确性，结合三电极体系设计（工作电极、参比电极、对电极），使得原位电化学实验的电极电位稳定性好。

同时也可升级为原位扫描电化学流道样品台，配合原位液氛纳流控安全管理系统，实现纳升级别流体引入，高效精确控制液体池中流体的流速、流量，引入的流体量极其微量，即使在芯片窗体薄膜破裂的情况下，也不会有大量液体渗漏，使得电镜的安全得以保证。

SEM液相电化学样品台示意图

技术指标：

   ●样品台材质：高强度钛合金；

   ●电极数：3；

   ●分辨率：可达到扫描电镜自身分辨率；

   ●视窗膜厚：25nm氮化硅；

   ●液体芯片池厚度：200~2000nm；

   ●电压工作范围：±10V；

   ●电流工作范围：pA~mA；

   ●检测电流：10pA；

   ●芯片电极材质可定制：金、铂、碳等；

应用案例

1.原位电化学观测Pb枝晶的生长机理

施加负压后，铅离子还原生长为铅枝晶的过程

2.纳米颗粒原位电化学芯片中的高分辨成像，分辨率高达10nm