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TEM气体电-热样品台是在原位样品台内部构建小型的气氛纳米实验室,在气体环境内对材料进行原子分辨高时空精度分析。而且可以根据客户需求结合 MEMS微加工工艺内置加热模块、光学模块和偏压模块,通过微纳芯片对单个纳米结构进行外场控制进行热学、光学及电学性质的测量。并可在物性测量的同时,动态、高分辨地对样品的晶体结构、化学组分、元素价态进行综合表征。
TEM气体光-热样品台在原位样品台内部构建小型的气氛纳米实验室,在气体环境内对材料进行原子分辨高时空精度分析。而且可以根据客户需求结合MEMS微加工工艺内置光学模块,通过微纳芯片对单个纳米结构进行外场控制进行光学性质的测量,并可在物性测量的同时,动态、高分辨地对样品的晶体结构、化学组分、元素价态进行综合表征。