TEM三维重构技术是电子显微术、电子衍射与计算机图像处理相结合而形成的一种有效且高分辨率的三维重构方法,用以表征材料三维空间结构。TEM三维重构的基本原理基于中心截面定理:任何实空间的三维物体沿电子束方向投影的傅立叶变换是该物体所对应的傅立叶空间中通过中心且垂直于投影方向的一个截面,换言之,只要收集样品在不同方向的投影或同一样品在不同角度的投影,对每张投影图进行傅立叶变换,按照投影方向填充到三维傅里叶空间对应的切面,再进行反傅立叶变换,就可得到实空间的三维结构。
TEM三维重构样品台为实现样品的三维重构可视化而设计。通过一系列的不同倾斜角获得样品的二维成像信息,并对其进行处理转化为三维信息,该样品台可直接组装直径3 mm的铜网样品,不仅可进行样品的三维重构,还可用于样品材料的扫描透射模式下高角环形暗场成像(HAADF-STEM)的高分辨分析。
TEM三维重构样品台的作用:
1、可进行全角度360°图像采集,避免锲形信息丢失;
2、实现精密的样品轴向旋转;
3、适合棒状样品或圆锥形样品;
4、特别适合聚焦离子束(FIB)制备的样品;
5、特别适合原子探针断层扫描(APT)和场离子显微镜(FIM)的样品;
6、兼容所有物镜极靴;
7、中心对称设计,消除样品杆倾斜过程中的重心偏移,减小层析成像过程稳定样品台的所需时间。