原位液体多功能集成样品台（光-电-热）是在原位液体加热样品台的基础上内置加热模块、光学模块和三电极电学模块，可在透射电镜中实现液体样品的电化学反应/加热过程/光学反应过程的实时动态高分辨成像。

​SEM液体电化学样品台可以同时对四个液体样品（三个静态和一个流体）进行观察，每个样品都被密封在各自的芯片内， 且互不影响。 芯片与原位透射电子显微系统类似， 包含上下两片芯片，通过键合内封和环氧树脂外封与电镜的真空分隔， 以确保液体无泄漏风险。电极材料可以根据客户的需求进行定制， 满足客户多化需求。

TEM液体加热样品台上的MEMS加热芯片外接皮安级高精度温度高频控制器，精确控制加热区域温度及其稳定性，同时在加热环境中样品几乎不漂移，可实现无干扰观察样品在反应过程中的变化，极大降低了TEM操作和原位软件系统的复杂性。

光是光催化化学反应的必要条件，TEM液体光学样品台在原位液体样品杆的基础上通过光纤引入光源，在液体环境下选择不同的光源波段和功率以满足各种实验需求，可根据用户需求定制光谱采集及分析系统。

TEM液体电化学样品台可以实现在TEM中液体环境下的定量电化学分析和高分辨（原子级）成像。 通过微纳芯片对样品施加电场， 对单个纳米结构进行外场控制并进行电学性质测量。并可在物性测量的同时， 动态、高分辨地对样品的晶体结构、化学组分、元素价态进行综合表征，极大地扩展了透射电镜的功能与应用领域。