扫描电镜加热原位系统有怎样的热学性能?

更新时间:2023-06-27      点击次数:630
  扫描电镜加热原位系统将MEMS气氛环境微腔和加热模块集成到扫描电镜样品台上,在扫描电镜中制造可控的环境并且可以对实验样品原位加热。可对样品进行可控温度的加热,电学测量芯片可对样品进行电性质测量。并可在进行加热和电学测量的同时,动态、高分辨地对样品的晶体结构、化学组分、元素价态进行综合表征,极大拓展了透射电镜的功能和应用范围。使用同一个SEM样品台既可以实现不同的原位解决方案电学、加热等不同应用。
  本公司提供的CHIP-NOVA扫描电镜加热原位系统有优异的热学性能:
  1.高精密红外测温校正,微米级高分辨热场测量及校准,确保温度的准确性。
  2.四电极的超高频控温方式,排除导线和接触电阻的影响,测量温度和电学参数更精确。
  3.采用高稳定性贵金属加热丝(非陶瓷材料),既是热导材料又是热敏材料,其电阻与温度有良好的线性关系,加热区覆盖整个观测区域,升温降温速度快,热场稳定且均匀,稳定状态下温度波动±1℃。
  4.采用闭合回路高频动态控制和反馈环境温度的控温方式,高频反馈控制消除误差,控温精度±1℃。
  5.多级复合加热MEMS芯片设计,控制加热过程热扩散,大大抑制升温过程的热漂移,确保实验的高效观察。
  6.加热丝外部由氮化硅包覆,不与样品发生反应,确保实验的准确性。
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