原位TEM力学加热样品台

厦门超新芯科技有限公司所研发生产的透射电镜原位高温力学系统是通过在原位样品杆内置力学测量模块、三维纳米运动模块、原位加热芯片，可对材料进行应力及热场条件下原子分辨高时空分析。通过该系统，在透射电镜中通过纳米探针或者原位芯片对样品进行操纵和拉应力、压应力测量。并且在测量样品压力同时实现对样品1000℃的加热，在高温力学测量的同时，能够动态、高分辨地对样品的晶体结构、组分进行综合表征。

具备的功能包括：原位压缩微纳试样进行应力应变曲线监测；原位拉伸微纳试样进行应力应变曲线监测；具有超高精度和灵敏度的力学参数和应变量测试能力，能准确得到定量的载荷和位移的数据，且具有极高的稳定性。特色功能：恒定载荷控制功能，以适用于材料的蠕变特性研究；恒定位移控制功能，以适用于材料的应力松弛的研究。

图原位TEM力学样品杆示意图

技术参数：

  ●杆体材质：高强度钛合金；

  ●控制方式：高精度压电控制；

  ●最大载荷：150mN；

  ●力学测量分辨率：＜10nN；

  ●粗调X/Y/Z范围：±2 mm；

  ●粗调精度：1.25μm；

  ●细调范围X/Y/Z：X：8μm，Y、Z：±5 μm；

  ●细调位移分辨率：0.2nm；

  ●(HR)TEM/STEM支持；

  ●(HR)EDS/EELS支持；

  ●温度测量范围：室温—1000℃；

  ●控温精度：±0.1 ℃；

  ●漂移率：1.5 nm/min（恒温状态下）

应用案例

纳米碳球压缩原位力学实验

钨纳米棒原位压缩过程