透射电镜气体高温原位系统运用了什么技术？

透射电镜气体高温原位系统运用了多场耦合技术，可在气相环境中实现光、电、热、流体多场耦合。透射电镜气体高温原位系统具有高的安全性：

1．采用纳流控技术，通过压电微控系统进行流体微分控制，实现纳升级微量流体输送，控制精度为5 nL/s，每次气体推送过程中，原位纳流控系统及样品杆中冗余的气体量仅有微升级别，有效保证电镜安全。

2．采用高分子膜面接触密封技术，相比于o圈密封，增大了密封接触面积，有效减小渗漏风险。

3．采用超高温镀膜技术，芯片视窗区域的氮化硅膜具有耐高温低应力耐压耐腐蚀耐辐照等优点。