扫描电镜高温力学原位系统的组成

　　扫描电镜高温力学原位系统是集成于扫描电镜(SEM)腔体内部的热-力耦合动态表征装置，可在真空环境下对样品同步施加精确高温场与力学载荷，同时利用 SEM 高分辨成像，实时观测材料在高温受力过程中的微观形貌、晶体结构与成分演变，是高温合金、陶瓷、复合材料等先进材料服役行为研究的核心设备。

　　扫描电镜高温力学原位系统的组成：

　　扫描电镜主体：

　　具备高分辨电子探测器，可提供表面灵敏的高分辨率图像，用于观察样品的微观形貌。

　　配备能谱、电子背散射衍射等分析附件，可在观察样品形貌的同时，进行元素分析和晶体学特征分析。

　　高温原位台：

　　是系统的核心部件，通常采用电阻加热方式，可实现一定温度范围内的精准控制。

　　加热区覆盖整个观测区域，升温降温速度快，热场稳定且均匀。

　　力学加载装置：

　　可在高温环境下对样品施加拉伸、压缩、三点弯曲等力学载荷，实现原位力学性能测试。

　　具备高精度压电陶瓷驱动，纳米级别精度数字化准确定位。

　　控制系统：

　　包括温度控制器、力学控制器等，以及相应的软件，可实现对温度、力学加载等条件的精确控制和实时监测。

　　支持自定义程序升温曲线，可定义多步升温程序、恒温时间等，同时可手动控制目标温度及时间。