TEM气体加热样品杆的工作流程

发表时间:2021-04-25      点击次数:1322
  TEM气体加热样品杆是通过MEMS(微机电系统)微加工工艺,在透射电镜内部搭建可视化NANO-LAB(纳米实验室)和四电极反馈控温模块,加热区覆盖整个观测区域,升温快、热场稳定且均匀,实现样品的气氛环境皮米级高分辨成像和精准、均匀、安全控温。

  设备的气体流道采用惰性材料防腐设计,进气采用纳流体微分控制方式,可以有效防止渗漏,革命性提升原位设备安全性,保障实验过程电镜安全。对应电镜原位观察而言,可观察范围基本在微米级别,整体可观察体积小于纳升,因此过量气体对实验毫无帮助,且引入巨大安全风险,超新芯提供的原位气氛纳流控安全管理系统实现纳升级别气体引入,高效准确的纳流体微分控制气体的流速流量及精确通过样品观察区域,且实验中引入总气体极其微量(小于25 μL),即使在芯片窗体薄膜破裂的情况下,也不会有大量气体渗漏,使得电镜的安全得以保证,并且实验不受影响,可持续进行。

  该设备可用于电镜样品在不同的高温条件下的结构表征。该仪器主要在多相催化、纳米材料合成、能源材料及金属&合金的腐蚀等研究领域中广泛应用。

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