TEM气体加热样品台

简要描述:TEM气体加热样品台是在原位样品台内部构建小型的气氛纳米实验室,在气体环境内对材料进行原子分辨高时空精度分析。可以根据客户需求结合MEMS微加工工艺内置加热模块、光学模块和偏压模块,通过微纳芯片对单个纳米结构进行外场控制进行热学、光学及电学性质的测量,并可在物性测量的同时,动态、高分辨地对样品的晶体结构、化学组分、元素价态进行综合表征。

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  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-05-07
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详细介绍

技术参数:

  ●与主流TEM兼容,兼容STEM, SAED, EELS, EDS等功能;

  ●超薄氮化硅膜视窗(可达10nm),气体夹层薄(100-200nm),可达到电镜自身分辨率;

  ●图像自动校正系统避免复杂的手动操作,便于捕获样品在反应过程中的关键信息;

 ●适用于多种气体,Ar、N 、CO、O 、H 、CH 、CO 、He、空气等;

  ●气体流速可控,0~50μL/s,流速低至5nL/s;

  ●高精度、高频控温模式,具有实时温度控制及测量功能;

  ●温度范围RT~1300 ℃,温度稳定性<±0.01 ℃,温度均匀性>99.5%;

  ●升温快、温度场稳定且均匀,升温过程样品几乎无漂移。



      TEM气体加热样品台上的MEMS加热芯片外接皮安级高精度温度高频控制器,精确控制 加热区域的温度及其稳定性,实现超高速升降温,0.01 ℃高精度温度控制及测量,同时可在加热环境中样品几乎不漂移,可实现样品的皮米级高分辨成像。







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