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TEM气体加热样品台

TEM气体加热样品台

更新时间:2021-07-27

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产品特点:TEM气体加热样品台是在原位样品台内部构建小型的气氛纳米实验室,在气体环境内对材料进行原子分辨高时空精度分析。可以根据客户需求结合MEMS微加工工艺内置加热模块、光学模块和偏压模块,通过微纳芯片对单个纳米结构进行外场控制进行热学、光学及电学性质的测量,并可在物性测量的同时,动态、高分辨地对样品的晶体结构、化学组分、元素价态进行综合表征。

TEM气体加热样品台的详细资料:

TEM气体加热样品台
●与主
流TEM兼容,兼容STEM, SAED, EELS, EDS等功能
●超薄氮化硅膜视窗(可达10 nm),薄(100-200 nm),可达到电镜自身分辨率;
●图像自动校正系统避免复杂的便于捕获样品在反应过程中的关键信息; ●适用于多种气体,Ar、N 、CO、O 、H 、CH 、CO 、He、空气等;
●气体流速可控,0~50 μL/s,流速低至5 nL/s;
●高精度、高频控温模式,具有实时温度控制及测量功能
●温度范围RT~1300 ℃,温度稳定性<±0.01 ℃,温度均匀性>99.5%;
●升温快、温度场稳定且均匀,升温过程样品几乎无漂移。

TEM气体加热样品台上的MEMS加热芯片外接皮安级高精度温度高频控制器,精确控制 加热区域的温度及其稳定性,实现超高速升降温,0.01 ℃高精度温度控制及测量,同时可在加热环境中样品几乎不漂移,可实现样品的皮米级高分辨成像。


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