SEM加热样品台

简要描述:SEM加热样品台采用四电极反馈控制系统对加热区域的样品进行精准均匀、安全控温。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-05-07
  • 访  问  量: 1997

详细介绍

技术参数:

  ●采用四电极反馈控制系统对加热区域的样品进行精准均匀、安全控温;

  ●超薄氮化硅膜(10nm,25nm,50nm),不会影响电子信号采集;

  ●高精度、高频反馈控温模式,具有实时温度控制及精确测量功能,内置绝对温标,  并可软件自动标定,对任一芯片的每次升温过程进行自动校正和模拟出*的升  温曲线,而非统计学的拟合曲线加热,能更好地反映热场实情并可自定义程序升  温曲线,设置升温速度,确保每片芯片每次测量温度的精确性,不受使用次数的  影响而降低,保证高温实验的重复性及可靠性;

  ●观测区域全覆盖;

  ●升温快、温度场稳定且均匀,升温过程样品几乎无漂移;

  CHIP-NOVA提供的SEM热样品台固体加热芯片温度范围RT~1300℃,以及精准的控温技术可满足大多数科学研究的需求。







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