扫描电镜高温原位系统

简要描述:扫描电镜高温原位系统通过MEMS芯片对样品施加热场控制,在原位样品台内构建热场自动控制及反馈测量系统,结合EDS、EBSD等多种不同模式,实现从纳米甚至原子层面实时、动态监测样品在真空环境下随温度变化产生的微观结构、相变、元素价态、微观应力以及表/界面处的原子级结构和成分演化等关键信息。

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  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-12-27
  • 访  问  量: 4745

详细介绍


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我们的优势

高分辨率和可靠性

MEMS微加工工艺,加热芯片视窗区域的氮化硅膜厚度最薄可达10nm,可达到扫描电镜极限分辨率。


优异的热学性能

1.高精密红外测温校正,微米级高分辨热场测量及校准,确保温度的准确性。

2.超高频控温方式,排除导线和接触电阻的影响,测量温度和电学参数更精确。

3.采用高稳定性贵金属加热丝(非陶瓷材料),既是热导材料又是热敏材料,其电阻与温度有良好的线性关系,加热区覆盖整个观测区域,升温降温速度快,热场稳定且均匀,稳定状态下温度波动≤±0.01℃。

4.采用闭合回路高频动态控制和反馈环境温度的控温方式,高频反馈控制消除误差,控温精度±0.01℃。

5.DUTE多级复合加热MEMS芯片设计,控制加热过程热扩散,极大抑制升温过程的热漂移,确保实验的高效观察。

6.加热丝外部由氮化硅包覆,不与样品发生反应,确保实验的准确性。


智能化软件

1.人机分离,软件远程控制实验条件,全程自动记录实验细节数据,便于总结与回顾。

2.自定义程序升温曲线。可定义10步以上升温程序、恒温时间等,同时可手动控制目标温度及时间,在程序升温过程中发现需要变温及恒温,可即时调整实验方案,提升实验效率。

3.内置绝对温标校准程序,每块芯片每次控温都能根据电阻值变化,重新进行曲线拟合和校正,确保测量温度精确性,保证高温实验的重现性及可靠性。




技术参数

类别项目参数
基本参数台体材质
高强度钛合金
分辨率扫描电镜极限分辨率
适用电镜ZEISS、Thermo Fisher等主流电镜
EBSD/EDS支持









应用案例

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Synthetic scheme for thepreparation of ZIF-67 crystalsand GC


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SEM images


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ZIF-67 after heated




















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