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高真空存杆仪

高真空存杆仪

更新时间:2021-07-27

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产品特点:高真空存杆仪的极限真空度为10-6mBar(以10杆型号为例,用户可定制4杆、6杆等不同型号),为样品杆提供高真空存放环境,可防止样品杆在空气中吸附湿气及纳米纤维,减小样品杆进电镜后的抽真空时间,大幅提高电镜使用效率。腔体独立设计,存取杆时互不影响,支持随存随取,方便客户对不同样品杆的切换使用。触屏控制设计,可实现各样品杆的单独控制。智能化设计,实现真空度自动检测、智能维持及漏气自动报警等。

高真空存杆仪的详细资料:

高真空存杆仪

A. 高真空存杆仪腔体靠近样品区的位置为可视化窗口设计,可直接观察样品杆上的样品、芯片等,方便操作。接口模块包含真空阀,用以在电源关闭时保持真空状态,或在取杆时实现气体快速通入,加速样品杆取出过程。高真空存杆腔体采用模块化设计,支持多个厂家样品杆,适用厂家包括:JEOL、FEI、Hitachi。

B. 触屏控制界面,可以进行真空数据设定、读取及触控操作(HMI),图形化界面清晰简洁、操作简便。

C. 高真空自动控制系统,可以根据参数设置要求,自动控制分子泵的启动与停止,确保样品杆长期处于高真空状态。

D. 内置高真空测量系统和高真空发生系统,其中测量系统包括真空度测量和分子泵转速测量,高真空发生系统包括真空管道、真空泵、真空阀、真空计等,为产品提供高真空存储环境。真空泵为德国进口普发涡轮分子泵(Pfeiffer HiPace 80),抽速可达 790 l/s,极限真空小于等于1×10-6 mBar,工作范围为10-6~10-2 mBar,稳定可靠。



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