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高真空存杆仪

高真空存杆仪

更新时间:2020-03-18

产品型号:High Vacuum Holder Storage System

产品报价:

产品特点:高真空存杆仪,该设备最低真空为10-5mBar,为原位样品台提供高真空存放环境,避免样品台受到污染,更可清洁样品台,尤其适用于原位样品台。

High Vacuum Holder Storage System高真空存杆仪的详细资料:

产品型号:

高真空存杆仪 High Vacuum Holder Storage System

HV-Holder Storage System-FEI/JOEL/HITACHI (4 port/6 port)


产品描述:

高真空存杆仪
,该设备最低真空为10-5mBar,为原位样品台提供高真空存放环境,避免样品台受到污染,更可清洁样品台,尤其适用于原位样品台。方便研究人员对不同样品台的切换,触屏控制最多可实现6路样品台单独存取。系统可实现真空度检测及真空度智能维持及漏气报警功能。

标准配置清单:

序号

分项内容

数量

1

可视化高真空存杆腔体(适配)

4套

2

真空数据设定、读取及触控操作(HMI)

1套

3

存杆仪支架及柜体

1台

4

高真空发生系统

1套

5

包装、运输及保险

 

技术参数:

1) 压力范围:0-1000mbar。

2) 存杆数量:四路

2)适用电镜样品台:FEI、JEOL、Hitachi(适配)。

3)适用原位反应舱芯片:自组装键合一体式芯片,加热芯片,纳流体芯片等。

4)极限真空小于等于1×10-6 mBar。 

5)接口模块含控制阀门,以在电源关闭时保持真空状态,或在取杆时,实现存杆模块气体通入,加速样品台取出过程。

6)各路存杆相互独立,存或取杆时互不影响,支持随存随取。

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