高真空存杆仪

技术参数：

1.高真空存杆仪腔体靠近样品区的位置为可视化窗口设计，可直接观察样品杆上的样品、芯片等，方便操作。接口模块包含真空阀，用以在电源关闭时保持真空状态，或在取杆时实现气体快速通入，加速样品杆取出过程。高真空存杆腔体采用模块化设计，支持多个厂家样品杆，适用厂家包括：JEOL、FEI、Hitachi。

2.触屏控制界面，可以进行真空数据设定、读取及触控操作（HMI），图形化界面清晰简洁、操作简便。

3.高真空自动控制系统，可以根据参数设置要求，自动控制分子泵的启动与停止，确保样品杆长期处于高真空状态。

4.内置高真空测量系统和高真空发生系统，其中测量系统包括真空度测量和分子泵转速测量，高真空发生系统包括真空管道、真空泵、真空阀、真空计等，为产品提供高真空存储环境。真空泵为德国进口普发涡轮分子泵（Pfeiffer HiPace 80），抽速可达 790 l/s，极限真空小于等于1×10-6mBar，工作范围为10-6~10-2mBar，稳定可靠。

高真空存杆仪的极限真空度为10-6mBar（以10杆型号为例，用户可定制4杆、6杆等不同型号），为样品杆提供高真空存放环境，可防止样品杆在空气中吸附湿气及纳米纤维，减小样品杆进电镜后的抽真空时间，大幅提高电镜使用效率。腔体独立设计，存取杆时互不影响，支持随存随取，方便客户对不同样品杆的切换使用。触屏控制设计，可实现各样品杆的单独控制。智能化设计，实现真空度自动检测、智能维持及漏气自动报警等。