透射电镜力电原位系统的构成

更新时间:2025-12-12      点击次数:26
  透射电镜力电原位系统是一种集成力学加载、电学测试与透射电镜高分辨成像的原位表征设备,核心是在透射电镜样品杆中加装扫描探针、力传感器和电学测试单元,可同步获取材料原子尺度微观结构与力电性能数据,广泛应用于纳米材料、新能源材料等领域的微观构效关系研究。
  透射电镜力电原位系统主要由以下几部分构成:
  原位力-电样品杆:作为核心部件,样品杆内置MEMS芯片,实现力、电复合多场自动控制及反馈测量。其设计需满足透射电镜的腔体空间限制,同时确保机械稳定性高、电磁屏蔽性能良好,以避免对成像光路形成干扰。
  MEMS力学加电芯片:采用微机电系统(MEMS)技术加工,实现电场和力学加载的独立控制。芯片设计需兼顾高精度力学加载与电学信号传输。
  力学-温度控制系统:支持高温条件下的动态力学性能测试,满足极*工况下的原位表征需求。
  电学控制器:集成电流电压测试单元,支持自动电流-电压(I-V)测量、电流-时间(I-t)测量,并具备数据自动保存功能。电压输出范围涵盖普通模式±10V与高压模式±150V,以适应不同实验需求。
  纳米探针操纵系统:通过压电陶瓷驱动实现探针的高精度操纵,确保探针移动平稳,实现高分辨原位观察实验。
  附件包与针尖制备系统:提供实验所需的辅助工具与针尖制备设备,确保实验流程的完整性与便捷性。
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