扫描电镜高温原位系统是一种将扫描电子显微镜(SEM)与高温加热装置相结合的科研仪器，能够在高温环境下对材料进行原位力学性能测试和微观结构观察。
系统组成：
扫描电镜主体：具备高分辨电子探测器，如二次电子、背散射电子探测器等，可提供表面灵敏的高分辨率图像，用于观察样品的微观形貌。
高温原位台：是系统的核心部件，通常采用电阻加热方式，可实现一定温度范围内的精准控制。
控制系统：包括温度控制器、力学控制器等，以及相应的软件，可实现对温度、力学加载等条件的精确控制和实时监测。
分析附件：可集成能谱(EDS)、电子背散射衍射(EBSD)等分析工具，在观察样品形貌的同时，进行元素分析和晶体学特征分析。
工作原理：
通过扫描电镜的电子束扫描样品表面，产生二次电子、背散射电子等信号，用于成像。同时，高温原位台将样品加热到设定温度，在保持真空环境的条件下，实时观察样品在高温下的微观结构变化，结合 EDS、EBSD 等附件，分析样品的化学成分、晶体取向等信息。
扫描电镜高温原位系统特点：
实时观察：可实时监控材料在高温下的变化，深入了解其行为。
高分辨率成像：提供高分辨率图像，能观察纳米级别的微观结构变化。
元素分析：可同时进行元素分析，确定材料在高温下的化学成分。
原位实验：可同时进行加热、冷却和机械测试，模拟真实世界条件下材料的行为。
