什么是高真空存杆仪?

发表时间:2022-06-15      点击次数:73
  高真空存杆仪可自由设置为原位样品台提供高真空存放环境,避免样品台受到污染,更可清洁样品台,尤其适用于原位样品台。方便研究人员对不同样品台的切换,触屏控制最多可实现10路样品台单独存取。系统可实现真空度检测及真空度智能维持及漏气报警功能。
 
  高真空存杆仪的结构介绍:
  1.腔体靠近样品区的位置为可视化窗口设计,可直接观察样品杆上的样品、芯片等,方便操作。接口模块包含真空阀,用以在电源关闭时保持真空状态,或在取杆时实现气体快速通入,加速样品杆取出过程。高真空存杆腔体采用模块化设计,支持多个厂家样品杆,适用厂家包括:JEOL、FEI、Hitachi。
  2.触屏控制界面,可以进行真空数据设定、读取及触控操作(HMI),图形化界面清晰简洁、操作简便。
  3.高真空自动控制系统,可以根据参数设置要求,自动控制分子泵的启动与停止,确保样品杆长期处于高真空状态。
  4.内置高真空测量系统和高真空发生系统,其中测量系统包括真空度测量和分子泵转速测量,高真空发生系统包括真空管道、真空泵、真空阀、真空计等,为产品提供高真空存储环境。

 

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