高真空检漏仪在实验中有什么作用?

发表时间:2021-05-31      点击次数:1000
  高真空检漏仪用于对有密封要求的封装器件进行真空检漏,以便发现漏孔位置。特别适合于对真空保持有很高要求的器件进行检测,可以确定出器件漏率大小,判断器件真空寿命。适用原位反应舱芯片:自组装键合一体式芯片,加热芯片,纳流体芯片。

  高真空检漏仪在将样品放进电镜前,仔细检验样品芯片安放是否存在泄露是必要的,这可以提高原位样品台的使用效率,保护透射电镜。该设备是专门用于TEM样品台真空储存和密封检查。它能够在5 min内将系统内真空度抽至10^(-5) mbar,即TEM内的真空环境。搭配的超高分辨数字显微系统,自带13寸显示器及自动变焦功能,放大倍率达200X,分辨率达1 μm。研究人员可轻松完成液体池/气体池的密封性、完整性检查。并可观察芯片窗体是否破裂或者污染,检验样品在窗体分布情况。

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