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原位TEM力学加热样品台上的MEMS（微机电系统）力学芯片可外接力学控制器，在透射电镜内可动态实时观察样品材料微结构的变化。通过实时获取的载荷、形变等数据，以及透射电子显微镜所提供的材料微结构变化数据，实现了定量分析材料的微观力学性质、相变行为、取向变化、裂纹形成和扩展、材料疲劳和断裂机制、加速蠕变、分层、形成滑移面以及脱落等现象。该原位力学系统稳定性好，经过科学设计，实现漂移率最小化。
原位SEM力学样品台通过使用力学传感器中的静电施以载荷，用微压头将载荷施加到纳米材料上，同时通过电容记录位移，可以实现如压缩、弯曲、疲劳、纳米压痕和纳米划痕等测试。根据所得的力-变形（应力-应变）曲线，可以定量确定这些纳米结构的材料特性。
