TEM固体热-电-光样品台

Volcano Series In Situ Holder针对快速变温过程原位高分辨研究需求构建的原位观察平台，根据客户需求结合MEMS微加工工艺内置加热模块、电学模块和光学模块，通过对样品的外场控制完成热学、电学及光学性质的研究。

Chip-Nova TEM Double tilt Holder(Optics/Biasing/Heating) 多功能双倾样品杆（光、电、热）系统，同时涵盖原位双倾功能模块、光学功能模块、电学功能模块、加热功能模块，可在透射电镜中实现固体样品微结构变化的原位表征。在原位双倾转角功能的基础上，通过开创性的将光作为外部条件搭载在原位样品台系统上，结合MEMS微纳加工制作的超低飘移微区加热芯片，实现全新的双倾-光-电-热四功能耦合，在操作α/β角度转动的同时，可同时引入光场刺激、电场刺激、热场刺激，各功能模块可同时在线工作并且相互独立，互不干扰。

图TEM多功能双倾样品杆示意图

技术参数：

  ●样品台体材质：高强度钛合金；

  ●电极数：4；

  ●视窗膜厚：无膜（样品悬空）或25nm氮化硅；

  ●稳定漂移率＜1.5nm/min；

  ●倾转角：α≥±25°，β≥±25°（实际范围取决于极靴型号）；

  ●温度范围：RT~1300 ℃；

  ●温度稳定性：≤±0.01 ℃（稳定状态）；温度精确度：>99%；温度均匀度：>99.50%；

  ●光源波长：紫外-可见光-红外；

  ●光源辐照强度：≥150mW/cm²；

  ●光纤接口：高精密度的SMA连接器；

  ●电学模块（pA-mA，普通模式±10V，高压模式±200V）；

  ●电场强度：≥400kV/cm；

  ●适用电镜：ThemoFisher/FEI，JEOL，Hitachi；

  ●适用极靴：ST，XT，T，BioT，HRP，HTP，CRP；

  ●(HR)TEM/STEM支持；

  ●(HR)EDS/EELS支持升温过程及高温检测。

应用案例

1300℃恒温，金属合金扩散，芯片温度稳定性好，漂移率低

室温-1000℃变温过程MOF材料碳化研究