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Volcano Series In Situ Holder针对快速变温过程原位高分辨研究需求构建的原位观察平台,根据客户需求结合MEMS微加工工艺内置加热模块、电学模块和光学模块,通过对样品的外场控制完成热学、电学及光学性质的研究。
Chip-Nova TEM Double tilt Holder(Optics/Biasing/Heating) 多功能双倾样品杆(光、电、热)系统,同时涵盖原位双倾功能模块、光学功能模块、电学功能模块、加热功能模块,可在透射电镜中实现固体样品微结构变化的原位表征。在原位双倾转角功能的基础上,通过开创性的将光作为外部条件搭载在原位样品台系统上,结合MEMS微纳加工制作的超低飘移微区加热芯片,实现全新的双倾-光-电-热四功能耦合,在操作α/β角度转动的同时,可同时引入光场刺激、电场刺激、热场刺激,各功能模块可同时在线工作并且相互独立,互不干扰。
图TEM多功能双倾样品杆示意图
技术参数:
●样品台体材质:高强度钛合金;
●电极数:4;
●视窗膜厚:无膜(样品悬空)或25nm氮化硅;
●稳定漂移率<1.5nm/min;
●倾转角:α≥±25°,β≥±25°(实际范围取决于极靴型号);
●温度范围:RT~1300 ℃;
●温度稳定性:≤±0.01 ℃(稳定状态);温度精确度:>99%;温度均匀度:>99.50%;
●光源波长:紫外-可见光-红外;
●光源辐照强度:≥150mW/cm2;
●光纤接口:高精密度的SMA连接器;
●电学模块(pA-mA,普通模式±10V,高压模式±200V);
●电场强度:≥400kV/cm;
●适用电镜:ThemoFisher/FEI,JEOL,Hitachi;
●适用极靴:ST,XT,T,BioT,HRP,HTP,CRP;
●(HR)TEM/STEM支持;
●(HR)EDS/EELS支持升温过程及高温检测。
应用案例
1300℃恒温,金属合金扩散,芯片温度稳定性好,漂移率低
室温-1000℃变温过程MOF材料碳化研究
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