TEM气体电-热样品台

简要描述：TEM气体电-热样品台是在原位样品台内部构建小型的气氛纳米实验室，在气体环境内对材料进行原子分辨高时空精度分析。而且可以根据客户需求结合 MEMS微加工工艺内置加热模块、光学模块和偏压模块，通过微纳芯片对单个纳米结构进行外场控制进行热学、光学及电学性质的测量。并可在物性测量的同时，动态、高分辨地对样品的晶体结构、化学组分、元素价态进行综合表征。

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更新时间：2022-05-07
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TEM气体电-热样品台是在原位样品台内部构建小型的气氛纳米实验室，在气体环境内对材料进行原子分辨高时空精度分析。而且可以根据客户需求结合 MEMS微加工工艺内置加热模块、光学模块和偏压模块，通过微纳芯片对单个纳米结构进行外场控制进行热学、光学及电学性质的测量。并可在物性测量的同时，动态、高分辨地对样品的晶体结构、化学组分、元素价态进行综合表征。

技术参数：
●高精度、高频控温模式，温度范围RT~1000 ℃，温度稳定性<±0.01 ℃，温度均匀性＞99.5%；

●电场工作范围：400kV/cm；

●电压工作范围：±200V，电流工作范围：±10A；

●电流工作范围：fA~A，检测电流低至：0.1pA。

TEM气体电-热样品台通过电场控制器对样品施加偏压，配合电学系统控制程序保证微反应系统稳定可靠运行及实时测量，该控制程序非常适合各种电子器件的电流、电压特性分析和功能测试，如：功率半导体材料、功率器件、能源生产、高效能源消耗等。

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