TEM气体光-热样品台

简要描述：TEM气体光-热样品台在原位样品台内部构建小型的气氛纳米实验室，在气体环境内对材料进行原子分辨高时空精度分析。而且可以根据客户需求结合MEMS微加工工艺内置光学模块，通过微纳芯片对单个纳米结构进行外场控制进行光学性质的测量，并可在物性测量的同时，动态、高分辨地对样品的晶体结构、化学组分、元素价态进行综合表征。

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更新时间：2022-05-07
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技术参数：

●光源波长可选择紫外-可见光-红外(185-2200nm)或8个定波段的单色光；或者单波长激光光源；

●光源最大强度不低于150mW/cm²；

●高精度、高频控温模式，温度范围RT~1300 ℃，温度稳定性<±0.01 ℃，温度均匀性＞99.5%；

●采用大功率氙灯、LED集成灯或激光器，光源响应时间短，且光源强度稳定；

●光纤外径大(650μm)，有效光照面积大且均匀；

●可兼容常用光纤探头。

TEM气体光-热样品台上的MEMS加热芯片外接皮安级高精度温度高频控制器，精确控制加热区域的温度及其稳定性，实现超高速升降温，0.01 ℃高精度温度控制及测量，同时可在加热环境中样品几乎不漂移，可实现样品的皮米级高分辨成像。

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